特許
J-GLOBAL ID：201503015721566677
積層マスクの製造方法、積層マスクおよび保護フィルム付き積層マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 堀田 幸裕
, 山下 和也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-001624
公開番号（公開出願番号）：特開2015-129334
出願日： 2014年01月08日
公開日（公表日）： 2015年07月16日
要約：
【課題】蒸着のパターニング精度を向上できる積層マスクの製造方法を提供する。【解決手段】本発明による積層マスクの製造方法において、まず、金属基材21の第1面21aに第1面側樹脂層43が設けられると共に、金属基材21の第2面21bに第2面側樹脂層46が設けられる。続いて、第1面側樹脂層43および第2面側樹脂層46を露光して現像することにより、第1面側樹脂層開口部44および第2面側樹脂層開口部47が形成される。次に、第1面側樹脂層開口部44を介して金属基材21が第1面21a側からエッチングされて、基材穴30が形成される。第2面側樹脂層開口部47の壁面48は、基材穴30の壁面31よりも貫通孔25の内側に配置される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
複数の貫通孔を有し、前記貫通孔を介して基板に蒸着材料を蒸着するために使用される積層マスクの製造方法において、
第1面と、前記第1面とは反対側に設けられるとともに蒸着時には前記基板側に配置される第2面とを有する金属基材を準備する工程と、
前記金属基材の前記第1面に第1面側樹脂層を設けると共に、当該金属基材の前記第2面に第2面側樹脂層を設ける工程と、
前記第1面側樹脂層および前記第2面側樹脂層を露光して現像することにより、前記第1面側樹脂層に第1面側樹脂層開口部を形成すると共に、前記第2面側樹脂層に第2面側樹脂層開口部を形成する工程と、
前記第1面側樹脂層開口部を介して前記金属基材を前記第1面側からエッチングする工程であって、当該金属基材に、前記第2面側樹脂層開口部に連通して当該第2面側樹脂層開口部とともに前記貫通孔を画成する基材穴を形成する工程と、を備え、
前記第2面側樹脂層開口部の壁面は、前記基材穴の壁面よりも前記貫通孔の内側に配置されることを特徴とする積層マスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H01L 51/50
, H05B 33/10
C23C14/04 A
, H05B33/14 A
, H05B33/10
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
