圧力センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：志賀正武 , 鈴木慎吾 , 西澤和純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-050552
公開番号（公開出願番号）：特開2015-175643
出願日： 2014年03月13日
公開日（公表日）： 2015年10月05日
要約：

【課題】圧力変動の検出を精度良く行うことができるとともに、検出できる下限周波数を下げることができ、かつ低周波帯域の圧力変動を感度良く検出する。【解決手段】圧力センサ1は、センサ本体のキャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー4と、カンチレバー4の基端部4aに形成された第1〜第3ギャップ21〜23とを備える。第1〜第3ギャップ21〜23は、カンチレバー4の幅方向において基端部4aを、幅方向両端の第1および第2支持部24,25と、第1および第2変位検出部26,27と、に電気的に区分する。第1および第2変位検出部26,27は、第1および第2支持部24,25の間でカンチレバー4の撓み変形に応じた変位を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧力変動を検出する圧力センサであって、内部にキャビティが形成され、前記キャビティと外部とを連通する連通開口を有する中空のセンサ本体と、先端部が自由端かつ基端部が前記センサ本体に支持された片持ち状態で前記連通開口を塞ぐように配置され、前記キャビティと前記センサ本体の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、を備え、前記基端部は、平面視で前記基端部から前記先端部に向かう第1方向に直交する第2方向において、前記連通開口の一部を成すように前記基端部に設けられたギャップによって複数の分岐部に区分され、前記複数の分岐部のうちで一部の分岐部は、前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を検出する変位検出部を備える、ことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L9/00 303D , H01L29/84 A

Fターム (17件)：

2F055AA40 , 2F055BB14 , 2F055CC12 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF11 , 2F055GG11 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA27 , 4M112CA36 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112FA01 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-105306 出願人：セイコーインスツル株式会社, 国立大学法人東京大学
半導体加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-304751 出願人：松下電工株式会社
半導体加速度センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-357825 出願人：松下電工株式会社

全件表示

前のページに戻る