特許
J-GLOBAL ID:201503016925849968
照明装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
特許業務法人アテンダ国際特許事務所
, 吉田 精孝
, 長内 行雄
, 角田 成夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-267414
公開番号(公開出願番号):特開2015-125003
出願日: 2013年12月25日
公開日(公表日): 2015年07月06日
要約:
【課題】X方向に延びる傷はもとより、Y方向に延びる傷も確実に顕在化することができ、検知精度の向上を図ることができる照明装置を提供する。【解決手段】LED7から照射された光はX方向集光レンズ10に入射され、このX方向集光レンズ10を通過することによりX方向に集光される。また、X方向集光レンズ10を通過した光はY方向集光レンズ8に入射され、このY方向集光レンズ8を通過することによりY方向に集光される。このように、LED7から照射された光はX方向及びY方向に集光されるため、検知対象物上の傷がX方向及びY方向の何れの方向に延びている場合であっても、傷を確実に顕在化することができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
所定方向に並設された複数の発光素子と、各発光素子の並設方向に延在するように設けられ、各発光素子からの光を主に各発光素子の並設方向(X方向とする)と直交する方向(Y方向とする)に集光するY方向集光レンズとを備え、各発光素子の光がY方向集光レンズを通過して所定の照射位置に線状または帯状に照射される照明装置において、
前記Y方向集光レンズと前記各発光素子との間に配置し、各発光素子からの光をY方向と略直角に交差する方向に集光して前記Y方向集光レンズに照射するX方向集光レンズを有する
ことを特徴とする照明装置。
IPC (3件):
G01N 21/84
, F21S 2/00
, F21V 5/04
FI (3件):
G01N21/84 E
, F21S2/00 330
, F21V5/04 600
Fターム (8件):
2G051AA34
, 2G051AA37
, 2G051AB02
, 2G051BB01
, 2G051BB09
, 3K243AA01
, 3K243BC09
, 3K243BE02
引用特許:
審査官引用 (10件)
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光照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-223545
出願人:HOYACANDEOOPTRONICS株式会社
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パターン検査装置及びそれに使用する照明光学系
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-014947
出願人:株式会社ブイ・テクノロジー
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照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-308259
出願人:株式会社アイテックシステム
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線状照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-256963
出願人:京都電機器株式会社
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光照射器およびインクジェットプリンタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-261764
出願人:ウシオ電機株式会社
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変調器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-117161
出願人:株式会社日立製作所, 日立ビアメカニクス株式会社
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特開昭64-069023
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照明装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-292965
出願人:株式会社アイテックシステム
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照明光学装置および試料検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-090423
出願人:アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社
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紫外線照射装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-205428
出願人:株式会社仲久
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