特許
J-GLOBAL ID：201503025731506804
デジタル光学技術を用いた厚さ測定装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-153982
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025929
特許番号：特許第5733846号
出願日： 2013年07月24日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光を放出する光源と、
前記光源から放出された光を反射させたり、または測定対象物により反射された光を透過させるビームスプリッターと、
前記ビームスプリッターにより反射された光を前記測定対象物に集束させるレンズ部と、
前記ビームスプリッターから透過された光の提供を受けて、同時に前記測定対象物の複数の領域における厚さ測定が可能となるように、前記測定対象物の互いに異なる測定領域から反射された光を互いに異なる光経路に沿って反射させる反射型光経路変換部と、
前記反射型光経路変換部から反射される光を分析して、前記測定対象物の厚さ情報を獲得する複数の分光器と、
前記ビームスプリッターから透過された光を基準として、前記反射型光経路変換部から反射された光の入力を受けて、前記測定対象物の映像を表示する表示部とを含み、
前記表示部は、測定対象物のイメージと、前記表示部に表示される映像を比較して前記測定対象物の測定領域が前記表示部に表示されるかどうかを判断し、
前記反射型光経路変換部は、前記反射型光経路変換部の反射角を調節して、前記測定対象物の互いに異なる複数の測定領域から反射される光をそれぞれの分光器に反射させる
ことを特徴とするデジタル光学技術を用いた厚さ測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/06 ( 200 6.01)
, G01N 21/17 ( 200 6.01)
G01B 11/06 Z
, G01N 21/17 A
