特許
J-GLOBAL ID：201503034785913390

検査装置および検査方法

発明者：
中西 英俊

中西 英俊 について

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伊藤 明

伊藤 明 について

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川山 巌

川山 巌 について

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斗内 政吉

斗内 政吉 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について

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国立大学法人大阪大学

国立大学法人大阪大学 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-254807
公開番号（公開出願番号）：特開2015-114145
出願日： 2013年12月10日
公開日（公表日）： 2015年06月22日
要約：
【課題】検査対象物から放射される電磁波の強度を容易に高める技術を提供する。【解決手段】検査装置100は、太陽電池90を検査する装置である。検査装置100は、太陽電池90のアノードであるp型半導体層93と、太陽電池90のカソードであるn型半導体層94とを電気的に接続することによって短絡する短絡手段99と、該短絡手段99によって短絡された太陽電池90にパルス光LP11を照射する照射部12と、該照射部12からのパルス光LP11の照射に応じて太陽電池90から放射される電磁波LT1を検出する検出部13と、を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
アノードおよびカソードを有する検査対象物を検査する検査装置であって、 前記検査対象物のアノードと、前記検査対象物のカソードを電気的に接続することによって短絡する短絡手段と、 前記短絡手段によって短絡された前記検査対象物に光を照射する照射部と、 前記照射部からの前記光の照射に応じて前記検査対象物から放射される電磁波を検出する検出部と、 を備えている、検査装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00 ,  H01L 31/04 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01M11/00 T ,  H01L31/04 K ,  H01L21/66 C
Fターム (7件)：
2G086EE04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA17 ,  4M106DE18 ,  4M106DE20 ,  5F151DA16 ,  5F151KA09
引用特許：
審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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