特許
J-GLOBAL ID：201503055754658306
プラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
田中 光雄
, 鮫島 睦
, 前堀 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-181259
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050334
出願日： 2013年09月02日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
要約：
【課題】プラズマ処理に於ける、環状フレームへの熱影響を抑制しつつ、そのためのカバーの損傷をも防止する。【解決手段】環状のフレーム7と保持シート6からなる搬送キャリア5に保持された基板2にプラズマ処理を施す。減圧可能な内部空間を有するチャンバ4と、チャンバ4内にプラズマを発生させるプラズマ源12と、チャンバ4内に設けられて搬送キャリア5が載置されるステージ11と、ステージ11の上方に載置されて保持シート6とフレーム7とを覆い、厚み方向に貫通するように形成された窓部32を有するカバー28とを備える。カバー28は、熱伝導性に優れた材料からなり、プラズマに晒される表面のうち、少なくとも窓部32側がプラズマとの反応性の低い材料からなるプロテクト部28aで覆われている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
環状のフレームと保持シートからなる搬送キャリアに保持された基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
減圧可能な内部空間を有するチャンバと、
前記チャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ源と、
前記チャンバ内に設けられて前記搬送キャリアが載置されるステージと、
前記ステージに載置され、前記保持シートと前記フレームとを覆い、厚み方向に貫通するように形成された窓部を有するカバーと、
を備え、
前記カバーは、熱伝導性に優れた材料からなり、プラズマに晒される表面のうち、少なくとも窓部側がプラズマとの反応性の低い材料からなるプロテクト部で覆われていることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 101G
, H05H1/46 L
5F004AA06
, 5F004BA20
, 5F004BB13
, 5F004BB18
, 5F004BB22
, 5F004BB23
, 5F004BB25
, 5F004BB28
, 5F004BB29
, 5F004BC06
, 5F004BD01
, 5F004CA06
, 5F004DA26
, 5F004DB01
, 5F004EB08
