特許
J-GLOBAL ID：201503080323514808
液体噴射ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-212636
公開番号（公開出願番号）：特開2015-074186
出願日： 2013年10月10日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
要約：
【課題】接着状態の判別を高精度に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、接合面側の面の形状が前記第1の部材よりも大きい第2の部材15と、を接着剤25を介して接着した状態で、積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段220によって前記第1の部材10又は前記第2の部材15に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、前記撮像手段220に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第2の部材15の前記接合面から延びる面と、の距離l1を測定し、測定した距離l1と、前記撮像手段220と前記基準点との距離l2と、に基づいて、前記撮像手段220の焦点距離lfを算出して前記接合面を撮像する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、接合面側の面の形状が前記第1の部材よりも大きい第2の部材と、を接着剤で接着した状態で、
積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段によって前記第1の部材又は前記第2の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、
前記撮像手段に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第2の部材の前記接合面から延びる面と、の距離を測定し、
測定した距離と、前記撮像手段と前記基準点との距離と、に基づいて、前記撮像手段の焦点距離を算出して前記接合面を撮像することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AP25
, 2C057AP82
, 2C057AQ02
