特許
J-GLOBAL ID：201003035511654801
ノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-021082
公開番号（公開出願番号）：特開2010-175491
出願日： 2009年02月02日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】短時間で、ノズル孔周囲の不良およびノズル孔内部の異物の有無を一括して検査できるノズルプレートの検査装置等を提供することである。【解決手段】ノズルプレート2がセットされるセットステージ12と、ノズルプレート2を移動させる移動テーブル13と、各ノズル孔3の表面側周囲7および内部を画像認識する認識カメラ14と、認識カメラ14のフォーカシング距離を調整するZテーブル15と、各ノズル孔3の表面側周囲7を照明する反射照明16と、各ノズル孔3内部を照明する透過照明17と、ノズルプレート2の高さを計測するレーザー変位計18と、制御装置19と、を備え、制御装置19は、ノズルプレート2の高さを計測する計測動作と、フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、各ノズル孔3の表面側周囲7の不良を検査する表面検査と、各ノズル孔3の内部の異物の有無を検査する孔内検査と、を連続して実施するものである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
インクジェットヘッドに組み込まれ、複数のノズル孔を有するノズルプレートを、そのノズル列方向に連続的に検査するノズルプレートの検査装置であって、
前記ノズルプレートがセットされるセットステージと、
前記セットステージを介して、前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に移動させる移動テーブルと、
吐出側となる前記各ノズル孔の表面側周囲、および前記各ノズル孔の内部を画像認識する単一の画像認識手段と、
前記画像認識手段を昇降させて、前記画像認識手段のフォーカシング距離を調整する昇降手段と、
前記各ノズル孔の表面側周囲の画像認識に際し、表面側から前記各ノズル孔の表面側周囲を照明する反射照明と、
前記各ノズル孔の内部の画像認識に際し、裏面側から前記各ノズル孔の内部を照明する透過照明と、
前記ノズルプレートの高さ位置を計測するレーザー変位計と、
前記移動テーブル、前記画像認識手段、前記昇降手段、前記反射照明、前記透過照明および前記レーザー変位計を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に前記ノズル孔単位で間欠的に移動させながら、
前記各ノズル孔近傍の前記ノズルプレートの高さ位置を計測する計測動作と、
この計測結果に基づいて、前記ノズル孔単位で前記フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、
前記フォーカシング調整動作の後、前記各ノズル孔の表面側周囲を画像認識させ、前記各ノズル孔の表面側周囲における不良を検査する表面検査と、
前記フォーカシング調整動作の後、前記各ノズル孔の内部を画像認識させ、前記各ノズル孔における異物の有無を検査する孔内検査と、
から成る繰返し動作を、連続して実施することを特徴とするノズルプレートの検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01B 11/00
, B41J 2/135
G01N21/88 Z
, G01B11/30 Z
, G01B11/00 B
, B41J3/04 103N
2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP82
, 2C057AQ06
, 2F065AA06
, 2F065AA49
, 2F065AA60
, 2F065BB02
, 2F065BB18
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065HH15
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ08
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051DA05
, 2G051EA12
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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