特許
J-GLOBAL ID：201503095794703675

ワークハンドリング装置

発明者：
赤木 芳幸

赤木 芳幸 について


出願人/特許権者：
浜井産業株式会社

浜井産業株式会社 について


代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-212477
公開番号（公開出願番号）：特開2015-074057
出願日： 2013年10月10日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
要約：
【課題】安価かつ簡素な構成であり、かつキャリアのワーク用角孔に矩形状のワークのローディングまたはアンローディングを確実に行うワークハンドリング装置を提供する。【解決手段】ハンド装置41をダブルキャリア20の直上へ移送してダブルキャリア20まで降ろし、ハンド装置41を回転させてハンド装置41が複数のキャリアフック417dを、ダブルキャリア20のインナーキャリアに形成された複数の位置決め用切り欠き部213に入れたことをキャリアフック位置検出センサ417eが検出した状態で、ハンド装置41の複数のハンド爪416をダブルキャリア20の複数のハンド爪用切り欠き部212内まで移動させてワーク10のローディングまたはアンローディングを行うワークハンドリング装置とした。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
矩形状のワークが装着されるワーク用角孔、ワーク用角孔と連通する複数のハンド爪用切り欠き部、がそれぞれ形成される円状のインナーキャリアと、このインナーキャリアが遊嵌されるキャリア用孔が形成されるとともに、外周面に歯車部が形成された円状のアウターキャリアと、を備えるダブルキャリアのワーク用角孔にワークのローディングまたはアンローディングを行うワークハンドリング装置であって、 ワークを把持するための複数のハンド爪と、ワークに対する前記ハンド爪の自転方向の位置合わせ機構と、を有するハンド装置と、前記ハンド装置を昇降および旋回させて両面研磨装置とワークの供給/排出装置間を移送する移送部と、を備え、 前記位置合わせ機構は、前記ハンド爪を回動する機構と、一対の位置合わせ用ピン&ホゾ機構と、これらの嵌合を確認する検出機構と、から構成されることを特徴とするワークハンドリング装置。
IPC (4件)：
B23Q 7/04 ,  B24B 37/28 ,  B23Q 17/00 ,  H01L 21/304
FI (5件)：
B23Q7/04 J ,  B24B37/04 U ,  B23Q7/04 H ,  B23Q17/00 A ,  H01L21/304 622L
Fターム (19件)：
3C029EE01 ,  3C033BB03 ,  3C033HH01 ,  3C033HH21 ,  3C033HH30 ,  3C058AA07 ,  3C058AC01 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058CA06 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18 ,  5F057AA05 ,  5F057AA53 ,  5F057BA11 ,  5F057BB03 ,  5F057CA19 ,  5F057DA01 ,  5F057FA32
引用特許：
審査官引用 (8件)
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