特許
J-GLOBAL ID:201503096912149617
搬送システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
吉田 稔
, 臼井 尚
, 土居 史明
, 鈴木 伸太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-167626
公開番号(公開出願番号):特開2015-037098
出願日: 2013年08月12日
公開日(公表日): 2015年02月23日
要約:
【課題】 ワークのずれを解消することが可能なワーク搬送システムを提供すること。【解決手段】 各々がワーク89を載置する第1載置部313および第2載置部323と、ワーク89を保持する保持部15を含むロボット1と、を用いる搬送システム800であって、ワーク89の画像であり、且つ、第1載置部313に載置されたワーク89の状態を示すワーク画像Imを撮像する画像撮像部61と、第1載置部313に対するワーク89の予定載置位置S10に関する予定載置位置情報Ip1を記憶する第1記憶部681と、予定載置位置S10に対する、第1載置部313に載置されたワーク89のずれ量ΔTを算出するずれ量算出部62と、を備え、ずれ量算出部62は、ワーク画像Imと、予定載置位置情報Ip1と、に基づき、ずれ量ΔTを算出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
各々がワークを載置する第1載置部および第2載置部と、ワークを保持する保持部を含むロボットと、を用いる搬送システムであって、
前記ワークの画像であり、且つ、前記第1載置部に載置されたワークの状態を示すワーク画像を撮像する画像撮像部と、
前記第1載置部に対するワークの予定載置位置に関する予定載置位置情報を記憶する第1記憶部と、
前記予定載置位置に対する、前記第1載置部に載置されたワークのずれ量を算出するずれ量算出部と、を備え、
前記ずれ量算出部は、前記ワーク画像と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出する、搬送システム。
IPC (3件):
H01L 21/677
, B65G 49/06
, B25J 13/08
FI (3件):
H01L21/68 A
, B65G49/06 Z
, B25J13/08 A
Fターム (32件):
3C707AS24
, 3C707BS15
, 3C707BS22
, 3C707CU04
, 3C707KS05
, 3C707KT02
, 3C707KT05
, 3C707LT12
, 3C707NS12
, 5F131AA03
, 5F131AA32
, 5F131CA18
, 5F131DA02
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB02
, 5F131DB43
, 5F131DB52
, 5F131DB62
, 5F131DB76
, 5F131DB82
, 5F131DD03
, 5F131DD43
, 5F131DD76
, 5F131KA14
, 5F131KA47
, 5F131KA52
, 5F131KA72
, 5F131KB05
, 5F131KB53
, 5F131KB58
引用特許:
審査官引用 (6件)
-
自動基板処理システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-550138
出願人:エーケーティー株式会社
-
基板位置補正装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-195853
出願人:株式会社ニコン
-
基板状態検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-242479
出願人:川崎重工業株式会社
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