特許
J-GLOBAL ID：201603001411743478

テープ拡張装置

発明者：
服部 篤

服部 篤 について

, 
植木 篤

植木 篤 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  岡本 知広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-132043
公開番号（公開出願番号）：特開2016-012584
出願日： 2014年06月27日
公開日（公表日）： 2016年01月21日
要約：
【課題】エキスパンドテープの弛んだ部分を起点としてエキスパンドテープが保持面から剥がれるのを抑制可能なテープ拡張装置を提供する。【解決手段】エキスパンドテープTを介して分割予定ラインに分割起点が形成された被加工物又は複数のチップに分割された被加工物を開口に支持する環状フレームFを保持するフレーム保持手段と、環状フレームに支持された被加工物を該エキスパンドテープを介して保持面で吸引保持するチャックテーブル14と、フレーム保持手段とチャックテーブルと該保持面と直交する方向に相対移動させて該エキスパンドテープを拡張する拡張手段と、該エキスパンドテープの弛み領域に外的刺激を付与して収縮させる収縮手段と、を備え、チャックテーブルの保持面は、被加工物に対応する被加工物保持領域18aと、被加工物保持領域を囲繞し該エキスパンドテープを吸引するテープ保持領域20と、を有する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
板状の被加工物が貼着され外周部が環状フレームに装着されたエキスパンドテープを拡張した後、該環状フレームの内周縁と被加工物の外周縁との間の該エキスパンドテープの弛み領域を収縮させるテープ拡張装置であって、 該エキスパンドテープを介して分割予定ラインに分割起点が形成された被加工物又は複数のチップに分割された被加工物を開口に支持する環状フレームを保持するフレーム保持手段と、 該環状フレームに支持された被加工物を該エキスパンドテープを介して保持面で吸引保持するチャックテーブルと、 該フレーム保持手段と該チャックテーブルとを該保持面と直交する方向に相対移動させて該エキスパンドテープを拡張する拡張手段と、 該エキスパンドテープの該弛み領域に外的刺激を付与して該エキスパンドテープを収縮させる収縮手段と、を備え、 該チャックテーブルの該保持面は、被加工物に対応する被加工物保持領域と、該被加工物保持領域を囲繞し該エキスパンドテープを吸引するテープ保持領域と、を有することを特徴とするテープ拡張装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/78 W ,  H01L21/68 N
Fターム (39件)：
5F063AA31 ,  5F063CB10 ,  5F063CB29 ,  5F063CC32 ,  5F063DD68 ,  5F063DD69 ,  5F063DD72 ,  5F063DG21 ,  5F063EE21 ,  5F063EE42 ,  5F063EE48 ,  5F063FF04 ,  5F063FF42 ,  5F063FF48 ,  5F131AA04 ,  5F131CA09 ,  5F131CA18 ,  5F131CA53 ,  5F131DA03 ,  5F131DA13 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB22 ,  5F131DB62 ,  5F131EA07 ,  5F131EA23 ,  5F131EB03 ,  5F131EB05 ,  5F131EB33 ,  5F131EB36 ,  5F131EB57 ,  5F131EB78 ,  5F131EB81 ,  5F131EC32 ,  5F131EC35 ,  5F131EC44 ,  5F131EC72 ,  5F131EC75
引用特許：
審査官引用 (5件)
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