特許
J-GLOBAL ID：201603001989136299
検査装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-556975
特許番号：特許第6033890号
出願日： 2013年01月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 使用時に周期的な格子を含むターゲット構造上のスポットにある入射角で広帯域放射線を誘導する照明光学系と、
前記ターゲットから反射した放射線を受光し前記反射放射線のスペクトルを形成し且つ検出するゼロ次検出光学系と、
前記ターゲット構造内の前記周期的な格子によって1つ以上の高次で回折した放射線を受光し、前記受光した回折放射線のスペクトルを形成し且つ検出する高次検出光学系と、を有する分光スキャトロメータを備える検査装置であって、
前記高次検出光学系は、
高次回折放射線の対称なスペクトル対を形成するように構成され、かつ対称である回折格子と、
前記スペクトル対の両方を捕捉するように構成された1対のスペクトル検出器と、を備え、
前記回折格子は、偏光に対して斜めの角度を向いた線を有する位相格子であり、偏光の放射線の異常成分が前記1対のスペクトル検出器から離れた場所に前記位相格子によってそのスペクトルを形成する、検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/47 ( 200 6.01)
, G01N 21/27 ( 200 6.01)
, G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G01B 11/03 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01N 21/47 A
, G01N 21/27 B
, G01N 21/956 A
, G01B 11/03 G
, H01L 21/66 P
