検査装置及び検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 森徹 , 吉田裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-130084
公開番号（公開出願番号）：特開2006-317443
出願日： 2006年05月09日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】改良された検査装置及び検査方法を提供すること。【解決手段】ターゲットを照射するための照明ビームを提供するようになされた照明システムと、このターゲットから非ゼロ次数回折方向に散乱する放射を検出するようになされた第1の検出システムとを備えた検査装置であって、この検出システムが、ターゲットから非ゼロ次数回折方向に散乱する放射を分散させるための分散エレメントと、該分散エレメントによって分散する放射の強度を測定するように構築され、且つ、配置された放射感応デバイスとを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査装置であって、ターゲットを照射するための照明ビームを提供するようになされた照明システムと、前記ターゲットから非ゼロ次数回折方向に回折する放射を検出するようになされた第1の検出システムであって、前記ターゲットから非ゼロ次数回折方向に回折する前記放射を分散させるための第1の分散エレメントと、前記第1の分散エレメントによって分散する前記放射の強度を測定するように構築され、且つ、配置された第1の放射感応デバイスとを備えた第1の検出システムと、を備えた検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B11/02 G , H01L21/66 J

Fターム (24件)：

2F065AA22 , 2F065BB02 , 2F065CC18 , 2F065CC19 , 2F065FF48 , 2F065GG02 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065UU07 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106CA48 , 4M106DB02 , 4M106DB03 , 4M106DB04 , 4M106DB07

引用特許：

審査官引用 (13件)

断面解析による焦点中心の決定
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-534994 出願人：アクセントオプティカルテクノロジーズ,インク.
差動限界寸法およびオーバーレイ測定装置および測定方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2005-513787 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
特開平1-145504

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