特許
J-GLOBAL ID:201603002110196125
シート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山口 義雄
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-209335
公開番号(公開出願番号):特開2014-063945
特許番号:特許第5996347号
出願日: 2012年09月24日
公開日(公表日): 2014年04月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一方の面に外縁からはみ出す大きさの第1及び第2接着シートが順次貼付された板状部材から、前記第2接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記板状部材を他方の面側から保持する板状部材保持手段と、
剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付する剥離用テープ貼付手段と、
前記板状部材と剥離用テープとを相対移動させて第2接着シートを第1接着シートから剥離する剥離手段とを備え、
前記板状部材保持手段の保持面に対して変位して前記板状部材の外縁からはみ出した第1接着シートのはみ出し部を保持するシート保持手段を更に備えたことを特徴とするシート剥離装置。
IPC (2件):
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/68 N
, H01L 21/78 M
引用特許:
出願人引用 (6件)
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脆質部材の処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-142246
出願人:リンテック株式会社
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特許第4782892号
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シート貼付装置及び貼付方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-240853
出願人:リンテック株式会社
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審査官引用 (6件)
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脆質部材の処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-142246
出願人:リンテック株式会社
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特許第4782892号
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シート貼付装置及び貼付方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-240853
出願人:リンテック株式会社
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