特許
J-GLOBAL ID:201603006603314947

プロセス監視装置、プロセス監視方法及びプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-237799
公開番号(公開出願番号):特開2016-164772
出願日: 2015年12月04日
公開日(公表日): 2016年09月08日
要約:
【課題】バッチプロセスの異常を高い精度で検知する。【解決手段】予め蓄積された機器又は設備の複数のバッチの運転データに基づき、該運転データに含まれる複数の状態データのそれぞれについて前記複数のバッチにおける平均と、前記複数のバッチにおける標準偏差とを算出する算出手段102、103と、前記算出手段により算出された前記平均及び前記標準偏差に基づき、前記複数のバッチの運転データを正規化する第1の正規化手段104と、前記第1の正規化手段により正規化された前記複数のバッチの運転データに基づき、前記機器又は設備の異常を検出するための正常モデルを作成するモデル作成手段106と、前記モデル作成手段により作成された前記正常モデルと前記機器又は設備から出力された運転データとに基づき、該機器又は設備の異常を検出する異常検出手段109とを有することにより、上記課題を解決する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
バッチプロセスにより処理を行う機器又は設備の時系列の運転状態を示す運転データに基づき該機器又は設備の異常を検出するプロセス監視装置であって、 予め蓄積された前記機器又は設備の複数のバッチの運転データに基づき、該運転データに含まれる複数の状態データのそれぞれについて前記複数のバッチにおける平均と、前記複数のバッチにおける標準偏差とを算出する算出手段と、 前記算出手段により算出された前記平均及び前記標準偏差に基づき、前記複数のバッチの運転データを正規化する第1の正規化手段と、 前記第1の正規化手段により正規化された前記複数のバッチの運転データに基づき、前記機器又は設備の異常を検出するための正常モデルを作成するモデル作成手段と、 前記モデル作成手段により作成された前記正常モデルと前記機器又は設備から出力された運転データとに基づき、該機器又は設備の異常を検出する異常検出手段と を有するプロセス監視装置。
IPC (1件):
G05B 23/02
FI (1件):
G05B23/02 302V
Fターム (15件):
3C223AA05 ,  3C223AA07 ,  3C223AA13 ,  3C223AA14 ,  3C223BA03 ,  3C223BB17 ,  3C223CC02 ,  3C223DD03 ,  3C223EB01 ,  3C223FF04 ,  3C223FF22 ,  3C223FF24 ,  3C223GG01 ,  3C223HH03 ,  3C223HH26
引用特許:
審査官引用 (10件)
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