特許
J-GLOBAL ID：201603008695674440
物体に付着した付着物を検出する検査方法および検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
勝沼 宏仁
, 永井 浩之
, 堀田 幸裕
, 岡村 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-261253
公開番号（公開出願番号）：特開2016-121921
出願日： 2014年12月24日
公開日（公表日）： 2016年07月07日
要約：
【課題】物体に付着した付着物の位置や量を精度良く算出することができる検査方法を提供する。【解決手段】物体には、隙間を空けて設けられた導電性パターン22を含むアンテナ素子20が取り付けられている。検査方法は、物体に0.1THz〜3THzの周波数範囲内の電磁波を照射する照射工程と、物体に取り付けられたアンテナ素子によって反射された電磁波である反射波の周波数特性を測定する測定工程と、測定工程によって得られた測定情報を解析する解析する解析工程と、を備えている。解析工程においては、アンテナ素子の導電性パターンを構成する導電性材料の導電率および導電性パターンに設けられた隙間に基づいて反射波の周波数特性に現れるピーク波形のピーク周波数が、アンテナ素子に重なる付着物の存在に応じて変化することに基づいて、付着物が検出される。【選択図】図3A
請求項（抜粋）：
物体に電磁波を照射して、物体に付着した付着物を検出する検査方法であって、
前記物体には、隙間を空けて設けられた導電性パターンを含むアンテナ素子が取り付けられており、
前記検査方法は、
前記物体に前記電磁波を照射する照射工程と、
前記物体に取り付けられた前記アンテナ素子によって反射された前記電磁波である反射波の周波数特性を測定する測定工程と、
前記測定工程によって得られた測定情報を解析する解析する解析工程と、を備え、
前記物体に照射される前記電磁波は、第1周波数から、前記第1周波数よりも高周波側の第2周波数までの成分を、連続的または断続的に含み、
前記第1周波数および前記第2周波数はいずれも、0.1THz〜3THzの範囲内であり、
前記解析工程においては、前記アンテナ素子の前記導電性パターンを構成する導電性材料の導電率および前記導電性パターンに設けられた前記隙間に基づいて前記反射波の周波数特性に現れるピーク波形のピーク周波数が、前記アンテナ素子に重なる前記付着物の存在に応じて変化することに基づいて、前記付着物が検出される、検査方法。
IPC (4件)：
G01N 22/00
, G01V 3/12
, G01N 21/358
, G01N 22/04
G01N22/00 S
, G01V3/12 A
, G01N21/3581
, G01N22/00 V
, G01N22/04
2G059AA01
, 2G059BB05
, 2G059CC09
, 2G059DD01
, 2G059DD12
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059HH01
, 2G059KK01
, 2G059MM04
, 2G059MM12
, 2G105AA01
, 2G105BB15
, 2G105CC01
, 2G105DD02
, 2G105EE01
, 2G105HH04
