特許
J-GLOBAL ID：201603009476109858

炭化珪素基板

発明者：
服部 望

服部 望 について

, 
森 康成

森 康成 について


出願人/特許権者：
三井造船株式会社

三井造船株式会社 について


代理人 (1件)： グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-223048
公開番号（公開出願番号）：特開2016-092122
出願日： 2014年10月31日
公開日（公表日）： 2016年05月23日
要約：
【課題】安価で高周波伝送損失の少ない炭化珪素基板を提供する。【解決手段】炭化珪素基板は、CVD法または焼結法により形成された炭化珪素からなる第1の層と、前記第1の層の表面に形成され、炭化珪素と異なる材料からなる第2の層と、を備える。前記第2の層の誘電正接が0.01未満である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
CVD法または焼結法により形成された炭化珪素からなる第1の層と、 炭化珪素と異なる材料からなり、前記第1の層の表面に形成された第2の層と、を備え、 前記第2の層の誘電正接が0.01未満であることを特徴とする炭化珪素基板。
IPC (6件)：
H01L 21/20 ,  C23C 16/42 ,  C01B 31/36 ,  C01B 21/072 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/265
FI (6件)：
H01L21/20 ,  C23C16/42 ,  C01B31/36 601G ,  C01B21/072 A ,  H01L21/02 B ,  H01L21/265 Q
Fターム (33件)：
4G146MA14 ,  4G146MB03 ,  4G146MB20A ,  4G146MB20B ,  4G146MB27 ,  4G146NA04 ,  4G146NA12 ,  4G146NA21 ,  4G146NB05 ,  4G146NB14 ,  4G146NB18 ,  4G146PA06 ,  4G146PA08 ,  4K030BA37 ,  4K030BB03 ,  4K030DA08 ,  4K030HA01 ,  4K030LA12 ,  4K030LA15 ,  5F152LP01 ,  5F152LP10 ,  5F152MM04 ,  5F152MM20 ,  5F152NN05 ,  5F152NN22 ,  5F152NP12 ,  5F152NP13 ,  5F152NP14 ,  5F152NP15 ,  5F152NQ02 ,  5F152NQ03 ,  5F152NQ05 ,  5F152NQ06
引用特許：
審査官引用 (6件)
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