特許
J-GLOBAL ID:201603010881882074

計測顕微鏡装置及び計測顕微鏡装置操作プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-199075
公開番号(公開出願番号):特開2014-055776
特許番号:特許第6009288号
出願日: 2012年09月11日
公開日(公表日): 2014年03月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 対象物に対して斜め方向から測定光を所定のパターンの構造化照明として投光するための測定光投光手段として、 第一の方向から対象物に対して第一測定光を照射可能な第一測定光投光手段と、 前記第一の方向とは異なる第二の方向から対象物に対して第二測定光を照射可能な第二測定光投光手段と、 観察画像を撮像するための観察用照明光源と、 前記第一測定光投光手段又は第二測定光投光手段で投光され、対象物で反射された測定光を取得して測定画像を撮像し、また前記観察用照明光源を用いて観察画像を撮像するための撮像手段と、 前記測定画像又は観察画像を表示させるための表示手段と、 前記測定画像又は観察画像を前記表示手段上で表示させた状態で、前記第一測定光投光手段及び第二測定光投光手段のいずれでも測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示するハイライト手段と を備えることを特徴とする計測顕微鏡装置。
IPC (3件):
G01B 11/25 ( 200 6.01) ,  G01B 9/04 ( 200 6.01) ,  G02B 21/06 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01B 11/25 H ,  G01B 9/04 ,  G02B 21/06
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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