特許
J-GLOBAL ID：201603013203675394
半導体ウェーハの温度制御装置、半導体ウェーハの温度制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-133305
公開番号（公開出願番号）：特開2016-012228
出願日： 2014年06月27日
公開日（公表日）： 2016年01月21日
要約：
【課題】目標値応答において、アクチュエータの飽和が発生した場合であっても、ループ間の制御量の追従性(均一性)を確保したうえで、制御対象が出し得る最大に近い速度で目標値応答を達成できる半導体ウェーハの温度制御装置を提供すること。【解決手段】独立した制御ループを有し、複数の温度調整手段のそれぞれに操作量を与える操作量演算手段30は、複数の制御ループのうち、最も応答速度の遅い制御ループの操作量を100%として、目標温度に到達するまでの応答出力となる規範モデルを生成する規範モデル出力生成手段31を備え、規範モデル出力生成手段31は、切り替え時間の逐次探索を実施して操作量パターンを決定するシミュレータと、複数の制御ループのうち、最も応答速度の遅い制御ループの操作量を100%として、他のループはこれに追従するように制御された応答から生成された規範モデルとを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の温度調整手段により半導体ウェーハの温度を調整するために、前記複数の温度調整手段の温度制御を行う半導体ウェーハの温度制御装置であって、
前記複数の温度調整手段のそれぞれに設定された複数の制御ループと、
それぞれの制御ループに設けられ、それぞれの温度調整手段で温度調整された半導体ウェーハの温度を検出する複数の温度検出手段と、
それぞれの温度検出手段で検出された温度に基づいて、それぞれの制御ループの温度調整手段に与える操作量を演算する操作量演算手段とを備え、
前記操作量演算手段は、
前記複数の制御ループのうち、最も応答速度の遅い制御ループの操作量を100%として、他のループはこれに追従するように制御された応答から生成された規範モデルと、
前記規範モデルを用い、目標温度に最短時間で到達させるための操作量パターンを探索する最適操作量パターン探索手段と、
前記規範モデルに対して、前記最適操作量パターン探索手段で探索された最適操作量パターンの操作量を与える規範モデル出力生成手段と、
前記規範モデル出力生成手段によって得られた前記規範モデルの出力を規範モデル出力として使用するモデル追従サーボ演算手段とを備えていることを特徴とする半導体ウェーハの温度制御装置。
IPC (4件)：
G05B 13/02
, G05B 11/36
, G05B 13/04
, G05D 23/19
G05B13/02 J
, G05B11/36 K
, G05B13/04
, G05D23/19 G
5H004GA02
, 5H004GA05
, 5H004GB01
, 5H004HA01
, 5H004HB01
, 5H004JA03
, 5H004JB01
, 5H004KC02
, 5H004KC34
, 5H323AA27
, 5H323BB04
, 5H323CA06
, 5H323CB01
, 5H323DA01
, 5H323EE02
, 5H323FF06
, 5H323KK06
, 5H323KK09
, 5H323LL01
