光学多重反射測定装置および光学多重反射測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：堀田幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-165612
公開番号（公開出願番号）：特開2016-042049
出願日： 2014年08月18日
公開日（公表日）： 2016年03月31日
要約：

【課題】高速で性状が変化するものを測定対象としても、正確に高速測定を行うことが可能な光学多重反射測定装置と光学多重反射測定方法を提供する。【解決手段】光学多重反射測定装置は、センサーチップ6が配置され分析対象試料3を搭載したプリズム2に対して光を照射する光源1と、プリズム2によって反射された光を受光する受光素子4を備えている。光源1は機構部によって、プリズム2への入射光の焦点を中心として、連続的に回転する。光源1の回転により、プリズム2への入射光の入射角を変化させて、プリズム2からの反射光の強度を測定する。光源1を一定速度で高速に動かすことが可能であるため、分析対象試料3を搭載したプリズム2に対して、高速で入射角を変化させて光を投入することができ、分析対象試料3の表面の過渡変化をミリ秒オーダーで観測することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

センサーチップが配置され分析対象試料を搭載したプリズムに対して光を照射する光源と、前記プリズムによって反射された光を受光する受光素子と、前記プリズムへの入射光の焦点を中心として前記光源を連続的に回転させる機構部とを備え、前記光源の回転に伴って前記プリズムへの入射光の入射角を変化させて、前記プリズムからの反射光の強度を測定することを特徴とする光学多重反射測定装置。

IPC (1件)：

G01N 21/41

FI (1件)：

G01N21/41 101

Fターム (14件)：

2G059AA05 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059BB11 , 2G059BB12 , 2G059BB15 , 2G059CC12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059JJ12 , 2G059KK01 , 2G059MM01

引用特許：

出願人引用 (1件)

表面プラズモン共鳴角検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-098357 出願人：日本レーザ電子株式会社

審査官引用 (4件)

表面プラズモン共鳴測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-149455 出願人：アイシン精機株式会社
蛍光検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-217777 出願人：株式会社島津製作所
多成分用レーザ式ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-277263 出願人：富士電機株式会社

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