基板保持装置および基板保持方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049592
公開番号（公開出願番号）：特開2013-232630
特許番号：特許第5913162号
出願日： 2013年03月12日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の多孔質体を含んで形成され、凹状に反った基板の中央部を含む第1領域を前記第1の多孔質体を介して吸着保持する第1保持部と、前記第1の多孔質体よりも密度の低い第2の多孔質体を含んで形成され、前記基板の前記第1領域よりも外周側に位置する第2領域を前記第2の多孔質体を介して吸着保持する第2保持部とを備え、前記第1保持部および前記第2保持部は、前記第1保持部および前記第2保持部への流量を調整する流量調整弁を介して単一の吸気装置に接続され、前記基板の前記第1領域を前記第1保持部が吸着保持した後で、前記基板の前記第2領域を前記第2保持部が吸着保持することを特徴とする基板保持装置。

IPC (2件)：