特許
J-GLOBAL ID：201603015580037230
画像生成装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
杉本 勝徳
, 岡田 充浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-236358
公開番号（公開出願番号）：特開2016-099227
出願日： 2014年11月21日
公開日（公表日）： 2016年05月30日
要約：
【課題】検査対象物の内部構造を可視化して、検査対処物中に存在する異物等を表示した画像を得ることができる画像生成装置を提供する。【解決手段】画像生成装置100は、検査光を検査対象物に照射する光源1、検査対象物を透過した光を受光して画像データを生成する受像器2、光源1と検査対象物との間の光路上に配置され、検査光を直線偏光させる第1の偏光子4、検査対象物と受像器2との間の光路上に配置され、透過光を直線偏光させる第2の偏光子5、および第1の偏光子4の透過軸と第2の偏光子5の透過軸とのなす相対角を変更可能な偏光方向制御手段とを備えている。画像生成装置100は、受像器2を用いて相対角が小さい第1画像と相対角が大きい第2画像を撮像すると共に、この第1画像と第2画像を用いて検査対象物の内部構造を可視化して、検査対象物中に存在する異物等を表示した画像を得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査光を検査対象物に照射する光源と、
前記検査対象物を透過した透過光および散乱光を受光して画像データを生成する受像器と、
前記光源と前記検査対象物との間の光路上に配置され、前記検査光を直線偏光させる第1の偏光子と、
前記検査対象物と前記受像器との間の光路上に配置され、前記透過光を直線偏光させる第2の偏光子と、
前記第1の偏光子の透過軸と前記第2の偏光子の透過軸とのなす相対角を変更可能な偏光方向制御手段と、を備え、
前記受像器を用いて相対角が小さい第1画像と相対角が大きい第2画像とを撮像すると共に、当該第1画像および第2画像を用いて前記検査対象物の内部構造を可視化して、検査対象物中に存在する検知対象を表示した画像を得ることを特徴とする画像生成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA28
, 2G051AA40
, 2G051AA41
, 2G051BA05
, 2G051BA06
, 2G051BA11
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051CD05
, 2G051EA08
, 2G051EA16
