特許

J-GLOBAL ID：200903051322809602

カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者： 崔 海龍 ,  斉藤 純一
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-311949
公開番号（公開出願番号）：特開2009-271497
出願日： 2008年12月08日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：

【課題】位相差膜を有するカラーフィルタ基板の、位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置および方法を提供する。【解決手段】位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置であって、前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、前記撮像手段が取得した画像データに対して画像処理部で所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理手段と、を有することを特徴とする位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差上の異物を検出する検査装置であって、 前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、 前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、 前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、 前記撮像手段が取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段と、 を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。

IPC (4件)：

G02B 5/30 ,  G01N 21/88 ,  G02B 5/20 ,  G01M 11/00

FI (4件)：

G02B5/30 ,  G01N21/88 H ,  G02B5/20 101 ,  G01M11/00 T

Fターム (25件)：

2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB04 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G086EE05 ,  2H048BA11 ,  2H048BB10 ,  2H048BB42 ,  2H149AA02 ,  2H149AB26 ,  2H149BA02 ,  2H149DA02 ,  2H149DA12 ,  2H149EA19 ,  2H149FB08 ,  2H149FC08

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液晶組成物、カラーフィルタ及び液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-165304   出願人：大日本印刷株式会社

審査官引用 (6件)

• 被検査基板の検査システム及び被検査基板の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-054669   出願人：大日本印刷株式会社
• コレステリック液晶層の検査方法、その検査装置及びコレステリック液晶層の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-329511   出願人：大日本印刷株式会社
• 透明性フィルムの異物検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-204497   出願人：住友化学株式会社
• LCDパネル検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-123174   出願人：株式会社アドバンテスト
• 複屈折性検査対象物の検査装置及び検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-250559   出願人：住友大阪セメント株式会社
• 積層フィルムの製造方法、積層フィルムの欠陥検出方法、積層フィルムの欠陥検出装置、積層フィルム、及び画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-340274   出願人：日東電工株式会社