特許
J-GLOBAL ID：201603016955525625
成膜装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024025
公開番号（公開出願番号）：特開2013-189707
特許番号：特許第6025591号
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 成膜室と、
仕切り弁を介して前記成膜室と接続される格納室と、
被成膜体及びシャドーマスク、又は前記シャドーマスクのみを、搬送することができる機能を有するシャドーマスク搬送機構と、
前記成膜室と前記格納室の間を、前記シャドーマスク搬送機構の動作と交差する方向に互いに平行して移動する蒸着源群の蒸着源と、
前記成膜室内で前記蒸着源と離れて設けられたプラズマ源と、を有し、
前記シャドーマスク搬送機構が前記被成膜体と前記シャドーマスクを重ね合わせた状態で搬送しながら、前記蒸着源から噴出する成膜材料を前記被成膜体に成膜する第1のモードと、
前記蒸着源を前記仕切り弁によって前記プラズマ源から隔離し、前記シャドーマスク搬送機構が前記シャドーマスクを保持した状態で搬送しながら、前記プラズマ源がプラズマを前記シャドーマスクに照射する第2のモードと、を有することを特徴とする成膜装置。
IPC (4件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01)
, C23C 14/00 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
C23C 14/24 J
, C23C 14/00 B
, C23C 14/24 G
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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