水晶振動子の特性測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠重 , 伊東忠彦 , 加藤隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-224994
公開番号（公開出願番号）：特開2016-092602
出願日： 2014年11月05日
公開日（公表日）： 2016年05月23日
要約：

【課題】プローブを用いずに特性の測定が可能な水晶振動子を提供する。【解決手段】水晶振動子100の特性測定方法は、光を透過する蓋34、水晶基板、及び、水晶基板における蓋に対向する側の第1表面に配置された上側励振電極21、及び、水晶基板における第1表面とは逆側の第2表面に配置された下側励振電極22を有する水晶振動子を駆動し、水晶振動子の駆動状態において、蓋を介して上側励振電極に光L1を照射し、照射した光に係る反射光L2に基づいて、水晶振動子の振動特性を測定する工程を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光を透過する蓋、水晶基板、及び、前記水晶基板における前記蓋に対向する側の第1表面に配置される第1励振電極、及び、前記水晶基板における前記第1表面とは逆側の第2表面に配置される第2励振電極を有する水晶振動子を駆動し、前記水晶振動子の駆動状態において、前記蓋を介して前記第1励振電極に光を照射し、照射した前記光に係る反射光に基づいて、水晶振動子の振動特性を測定する、工程を含む、水晶振動子の特性測定方法。

IPC (1件)：

H03H 3/02

FI (1件)：

H03H3/02 B

Fターム (13件)：

5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108EE18 , 5J108FF11 , 5J108GG03 , 5J108GG16 , 5J108GG17 , 5J108MM11 , 5J108NA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-314918
水晶振動片及びその製造方法、振動子、発振器、電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-022305 出願人：セイコーエプソン株式会社
水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと情報通信機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-179028 出願人：有限会社ピエデック技術研究所

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