レーザ熱処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：居藤洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155634
公開番号（公開出願番号）：特開2015-024426
特許番号：特許第5997666号
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被加工物の表面にレーザ光による光スポットを形成して同被加工物の加工を行うレーザ加工装置において、前記被加工物に対して前記光スポットを相対変位させる光スポット走査手段と、前記被加工物上に前記光スポットの相対変位方向に沿って並んだ状態で複数の前記光スポットを形成する複数のレーザ光を出射するレーザ光出射手段と、前記複数の光スポットにおける前記光スポットの相対変位方向上の位置を変更する光スポット位置変更手段とを備え、前記光スポット走査手段は、前記被加工物における加工対象箇所に対して前記複数の光スポットを順次通過させるものであり、前記レーザ光出射手段は、前記光スポットの相対変位方向に直交する方向に沿って複数のレーザ光源を有しているとともに、前記複数のレーザ光源間での出力強度のプロファイルが均一となるように前記光スポットの相対変位方向に互いに隣接する前記レーザ光出射手段間で前記レーザ光源をずらして配置していることを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/064 ( 201 4.01) , B23K 26/08 ( 201 4.01) , C21D 1/09 ( 200 6.01) , C21D 1/34 ( 200 6.01)

FI (5件)：

B23K 26/064 A , B23K 26/08 F , C21D 1/09 H , C21D 1/09 M , C21D 1/34 H

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-188212
ガラス基板のレーザーシーリング装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-508412 出願人：エルジー・ハウシス・リミテッド
特開昭62-028093

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