特許
J-GLOBAL ID：201603020610056174
樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
蔵田 昌俊
, 野河 信久
, 峰 隆司
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-167509
公開番号（公開出願番号）：特開2014-024999
特許番号：特許第5919122号
出願日： 2012年07月27日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記一般式(1)で表される繰り返し単位(Q)及び下記一般式(4)で表される繰り返し単位(P)(ただし、前記繰り返し単位(Q)に該当する繰り返し単位を除く)を含む高分子化合物(A)を含有する樹脂組成物であって、前記高分子化合物(A)は、前記繰り返し単位(Q)として、下記一般式(2)又は(3)で表される繰り返し単位を含み、且つ、前記繰り返し単位(P)として、下記一般式(5)又は(6)で表される繰り返し単位を含む樹脂組成物:
式中、
R1は、水素原子、メチル基、又はハロゲン原子を表し;
R2及びR3は、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表し;
Lは、2価の連結基もしくは単結合を表し;
Yは、メチロール基を除く置換基を表し;
Zは、水素原子又は置換基を表し;
mは、0〜4の整数を表し;
nは、1〜5の整数を表し;
m+nは5以下であり;
mが2以上である場合、複数のYは互いに同一であっても異なっていてもよく;
nが2以上である場合、複数のR2、R3及びZは互いに同一であっても異なっていてもよく;
Y、R2、R3及びZの2つ以上が互いに結合して環構造を形成していてもよい。
式中、
R1、R2、R3、Y、Z、m及びnは、前記一般式(1)で定義した通りであり;
Arは、芳香環を表し;
W1及びW2は、2価の連結基又は単結合を表す。
式中、
R1’は、水素原子、メチル基、又はハロゲン原子を表し;
Xは、(p+1)価の連結基又は単結合を表し;
pは、1以上の整数を表す。
式中、
R1’及びpは、前記一般式(4)において定義した通りであり;
B1及びB2は、2価の連結基又は単結合を表し;
Arは、芳香環を表す。
IPC (6件)：
C08F 12/22 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08F 20/30 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C08F 12/22
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/038 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/039 601
, C08F 20/30
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (16件)
全件表示
審査官引用 (16件)
全件表示
前のページに戻る
