検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-520142
特許番号：特許第5908585号
出願日： 2012年07月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に測定領域を設定する段階と、前記測定領域に対して特徴客体を設定する段階と、前記測定領域に対してそれぞれ異なる条件の照明を照射する段階と、前記それぞれ異なる条件の照明による前記測定領域に対する測定データを獲得する段階と、前記それぞれ異なる条件の照明別測定データを用いて照明条件を設定し、前記照明別測定データの中から、前記特徴客体を含む領域と、前記特徴客体を含まない領域との間のグレー値(gray scale)の差が大きい測定データに対応する照明の条件を前記照明条件に設定する段階と、前記特徴客体に対応する基準データと前記設定された照明条件によって獲得された前記特徴客体の測定データとを比較して前記測定領域の歪曲量を獲得する段階と、前記歪曲量を補償して前記測定領域内の検査領域を設定する段階と、を含み、前記照明条件を設定する段階は、前記基準データ内で、前記特徴客体を含む、前記基板を構成する信号ライン配線用基板層(signal layer)に対応する基準マスク(mask)領域及び前記特徴客体を含まない基準非マスク(no mask)領域を設定する段階と、前記それぞれ異なる条件の照明別測定データ内で前記基準マスク領域に対応する測定マスク領域及び前記基準非マスク領域に対応する測定非マスク領域を区分する段階と、前記測定マスク領域と前記測定非マスク領域との間のグレー値(gray scale)の差異が大きい照明の条件を前記照明条件に設定する段階と、を含むことを特徴とする検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/956 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01N 21/956 B

引用特許：

出願人引用 (6件)

検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-075613 出願人：コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
パターン欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-294854 出願人：株式会社東芝
光学検査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-289966 出願人：オリンパス光学工業株式会社

全件表示

審査官引用 (7件)

検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-075613 出願人：コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
パターン欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-294854 出願人：株式会社東芝
光学検査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-289966 出願人：オリンパス光学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る