特許
J-GLOBAL ID：201003072690776780
検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-075613
公開番号（公開出願番号）：特開2010-237210
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：
【課題】測定対象物の歪曲を適切に補償した検査領域の設定方法を提供する。【解決手段】ステージに測定対象物を配置し、測定対象物に対する基準データを呼び出し、測定対象物に対する測定データを獲得し、測定対象物に対する測定データと測定対象物に対する基準データから少なくとも一つの特徴オブジェクトを選択し、基準データおよび測定データから選択された特徴オブジェクトに対する少なくとも一つの特徴変数をそれぞれ抽出し、特徴変数および定量化した変換公式を用いて測定対象物の変化量を算出し、算出された変化量を補償して検査領域を設定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ステージに測定対象物を配置し、
前記測定対象物に対する基準データを呼び出し、
前記測定対象物に対する測定データを獲得し、
前記測定対象物に対する測定データおよび前記測定対象物に対する基準データから少なくとも一つの特徴オブジェクトを選択し、
前記基準データおよび前記測定データから前記選択された特徴オブジェクトに対する少なくとも一つの特徴変数をそれぞれ抽出し、
前記特徴変数および定量化した変換公式を用いて前記測定対象物の変化量を算出し、
前記算出された変化量を補償して検査領域を設定する
ことを特徴とする検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/25 H
, G06T1/00 305
2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065AA54
, 2F065AA65
, 2F065BB02
, 2F065BB05
, 2F065CC01
, 2F065CC28
, 2F065EE00
, 2F065EE05
, 2F065EE08
, 2F065EE12
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065HH06
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL22
, 2F065LL24
, 2F065MM16
, 2F065NN02
, 2F065QQ25
, 2F065QQ42
, 2F065RR05
, 2F065RR08
, 5B057AA03
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD12
, 5B057CD20
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DA08
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC07
, 5B057DC16
, 5B057DC33
