3次元微細加工のための,空間光変調器と結合したレーザートラッピングに支援された局所的電気泳動堆積

MATSUURA Toshiki; TAKAI Takanari; IWATA Futoshi

文献

J-GLOBAL ID：201702279948247358 整理番号：17A1811152

3次元微細加工のための,空間光変調器と結合したレーザートラッピングに支援された局所的電気泳動堆積

Local electrophoresis deposition assisted by laser trapping coupled with a spatial light modulator for three-dimensional microfabrication

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資料名：
巻： 56 号： 10 ページ： 105502.1-105502.6 発行年： 2017年10月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

空間光変調器(SLM)と結合したレーザートラッピングで支援された局所的電気泳動堆積法を利用する,新規の3次元加工法を報告する。ナノメータサイズのコロイド状Au粒子を含む溶液中で,SLMにより導電性基板上に形成された複数のレーザスポットがナノ粒子を集め,ナノ粒子は印加された電場により基板上に電気泳動堆積する。しかし,複数のレーザスポットの光学的干渉から望ましくないサブスポットがしばしば現れ,堆積の正確さを損なう。望ましくないサブスポットの出現を避けるために,擬多重スポットを用いる方法(単一スポットの位置をSLMを用いて素早く切り替えることで実現する)を提案する。この方法により,望ましくないサブドット堆積なしで,基板上に複数のドットを堆積することが可能になる。堆積中に基板を下方に動かすことにより,複数のマイクロピラー構造が形成される。加工特性として,ピラ直径のレーザ強度に対する依存性を,レーザスポットの数を変えて調べた。本研究で作製した4本のピラの最小直径は,2.5mWのレーザ強度において920nmであった。この方法の有効性を実証するため,複数のスパイラル構造を形成した。10fpsのフレーム速度にてSLMに表示されるCGHパターンの2200フレームを用いて,46μm高さの四重スパイラルの形成に成功した。(翻訳著者抄録)

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金属薄膜

引用文献 (39件)：

S. Matsui, T. Kaito, J. Fujita, M. Komuro, K. Kanda, and Y. Haruyama, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 3181 (2000).
J. Fujita, M. Ishida, T. Sakamoto, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 2834 (2001).
J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Ichihashi, T. Kaito, and S. Matsui, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2686 (2002).
M. Ishida, J. Fujita, and Y. Ochiai, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2784 (2002).
J. Fujita, M. Ishida, T. Ichihashi, Y. Ochiai, T. Kaito, and S. Matsui, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 206, 472 (2003).

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