特許
J-GLOBAL ID：201703001372485323
フィルム試料サンプリング治具とサンプリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
伴 俊光
, 細田 浩一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-079301
公開番号（公開出願番号）：特開2014-202620
特許番号：特許第6190612号
出願日： 2013年04月05日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面分析用フィルム試料を分析対象となるフィルムからサンプリングするサンプリング治具であって、前記フィルムが載置される平坦な上面を有し、該上面に四角形に延びるように刻設された下刃溝を有するサンプリング台と、該サンプリング台の上方から下方に向けて移動可能で、前記下刃溝の形状に対応する形状の上刃を有し、該上刃と前記下刃溝の協働により前記フィルムの裁断が可能な上刃部材とを有し、(α)前記上刃の両側の端部によって前記下刃溝の四角形の4点の角部に対応する部分が最初に切断され、その後、両端の角部から辺部の中央にかけて順次フィルムが切断される、または(β)前記上刃の低い側の端部によって前記下刃溝の四角形の4点の角部に対応する部分が最初に切断され、その後、一方の角部から他方の角部まで辺部に沿って順次フィルムが切断されるフィルム試料サンプリング治具であって、
前記表面分析用フィルム試料のエッジ部の表面が、分析表面と同一高さの位置または分析表面よりも低い位置にあって、前記エッジ部における形状の分析試料の厚み方向における最大振幅が500nm以下であることを特徴とするフィルム試料サンプリング治具。
IPC (4件)：
G01N 23/201 ( 200 6.01)
, G01N 23/223 ( 200 6.01)
, G01N 23/20 ( 200 6.01)
, G01N 1/28 ( 200 6.01)
G01N 23/201
, G01N 23/223
, G01N 23/20
, G01N 1/28 G
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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