特許
J-GLOBAL ID：201703001612754408
パターン検査装置及びパターン検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-151655
公開番号（公開出願番号）：特開2017-032369
出願日： 2015年07月31日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：
【課題】微小欠陥を検査する検査装置において、露光装置で露光転写された場合に形成される像を検査可能な検査装置を提供する。【解決手段】第1の検査光の照明形状を変更可能な透過照明光学系170と、対物レンズ104と偏光素子を有する反射照明光学系172と、偏光素子を光路外から光路上に移動させることが可能であると共に偏光素子を光路上から光路外に移動させることが可能な駆動機構176と、ステージが移動中に、第1の検査光が照明されたマスク基板101からの透過光を受光するセンサ105と、対物レンズ104を介して透過光を受光し、受光された透過光をセンサ105へ結像する結像光学系178と、マスク基板101とセンサ105との間に配置され、マスク基板101から対物レンズ104へ透過光が入射可能な開口数が高開口数の状態と低開口数の状態との間で切り替え可能になるように前記透過光の光束径を調整する開口絞り180とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パターンが形成されたマスク基板を載置する移動可能なステージと、
前記マスク基板に第1の検査光を照明する、前記第1の検査光の照明形状を変更可能な透過照明光学系と、
対物レンズと偏光素子を有し、前記対物レンズと前記偏光素子を用いて前記マスク基板に第2の検査光を照明し、前記マスク基板からの反射光を通過させる反射照明光学系と、
前記偏光素子を光路外から前記光路上に移動させることが可能であると共に前記偏光素子を前記光路上から光路外に移動させることが可能な駆動機構と、
前記ステージが移動中に、前記第1の検査光が照明された前記マスク基板からの透過光を受光するセンサと、
前記対物レンズを介して前記透過光を受光し、受光された前記透過光を前記センサへ結像する結像光学系と、
前記マスク基板と前記センサとの間に配置され、前記マスク基板から前記対物レンズへ前記透過光が入射可能な開口数(NA)が高開口数の状態と低開口数の状態との間で切り替え可能になるように前記透過光の光束径を調整する開口絞りと、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051AC02
, 2G051BA05
, 2G051BA10
, 2G051BA11
, 2G051BB09
, 2G051BC10
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051DA07
, 2G051EA04
, 2G051EA11
, 2G051EB09
, 2G051ED08
