特許
J-GLOBAL ID:201703001615119266
光導波路構造、光集積素子、および光導波路構造の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-023210
公開番号(公開出願番号):特開2017-142348
出願日: 2016年02月10日
公開日(公表日): 2017年08月17日
要約:
【課題】異なる導波路構造の接続部における損失が少なく、製造トレランスが高い光導波路構造を提供する。【解決手段】光導波路構造100であって、第4光導波路部40のハイメサ導波路構造41の、第3光導波路部30の埋め込み導波路構造31との接続端における導波路幅W41は、埋め込み導波路構造31の導波路幅W31よりも広く、ハイメサ導波路構造41の、第2光導波路部20の少なくとも1つのハイメサ導波路構造21、22との接続端における導波路幅W42は、第2光導波路部20の少なくとも1つのハイメサ導波路構造21、22の導波路幅W21、W22の合計よりも広く、埋め込み導波路構造31は、埋め込み導波路構造11と同一構造であり、第3光導波路部30のメサストライプ構造32の幅W32は、ハイメサ導波路構造41の、埋め込み導波路構造31との接続端における導波路幅W41と等しい。【選択図】図1
請求項(抜粋):
導波路コア層を備えた埋め込み導波路構造を有する第1光導波路部と、
導波路コア層を備えたハイメサ導波路構造を少なくとも1つ有する第2光導波路部と、
前記第1光導波路部の埋め込み導波路構造と光学的に接続された、導波路コア層を備えた埋め込み導波路構造を含むメサストライプ構造を有する第3光導波路部と、
前記第2光導波路部のハイメサ導波路構造と前記第3光導波路部の埋め込み導波路構造とを光学的に接続する、導波路コア層を備えたハイメサ導波路構造を有する第4光導波路部と、
を備え、
前記第4光導波路部のハイメサ導波路構造の、前記第3光導波路部の埋め込み導波路構造との接続端における導波路幅は、前記第3光導波路部の埋め込み導波路構造の導波路幅よりも広く、
前記第4光導波路部のハイメサ導波路構造の、前記第2光導波路部の少なくとも1つのハイメサ導波路構造との接続端における導波路幅は、前記第2光導波路部の少なくとも1つのハイメサ導波路構造の導波路幅の合計よりも広く、
前記第3光導波路部の埋め込み導波路構造は、前記第1光導波路部の埋め込み導波路構造と同一構造であり、前記第3光導波路部のハイメサ構造の幅は、前記第4光導波路部のハイメサ導波路構造の、前記第3光導波路部の埋め込み導波路構造との接続端における導波路幅と等しい
ことを特徴とする光導波路構造。
IPC (6件):
G02B 6/122
, G02B 6/125
, G02B 6/136
, H01S 5/227
, H01S 5/026
, G02F 1/025
FI (6件):
G02B6/122
, G02B6/125 301
, G02B6/136
, H01S5/227
, H01S5/026 618
, G02F1/025
Fターム (58件):
2H147AB01
, 2H147AB05
, 2H147AB09
, 2H147AB11
, 2H147AB15
, 2H147AB31
, 2H147AC05
, 2H147BA02
, 2H147BA06
, 2H147BA15
, 2H147BB01
, 2H147BB02
, 2H147BB06
, 2H147BB08
, 2H147BC05
, 2H147BD03
, 2H147BD07
, 2H147BE01
, 2H147BE22
, 2H147EA12A
, 2H147EA12B
, 2H147EA12C
, 2H147EA14B
, 2H147EA17B
, 2H147EA25B
, 2H147FA04
, 2H147FA05
, 2H147FC02
, 2H147FC05
, 2H147FD09
, 2H147FD20
, 2H147GA00
, 2H147GA10
, 2H147GA19
, 2K102AA17
, 2K102BA01
, 2K102BB01
, 2K102BB04
, 2K102BC04
, 2K102BC05
, 2K102DA05
, 2K102DB04
, 2K102DD03
, 2K102EA02
, 2K102EB20
, 2K102EB29
, 5F173AA26
, 5F173AB13
, 5F173AB44
, 5F173AD12
, 5F173AD16
, 5F173AD18
, 5F173AH12
, 5F173AP05
, 5F173AP32
, 5F173AR06
, 5F173AR23
, 5F173AR93
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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