特許
J-GLOBAL ID：201703002926368037

キャパシタンスを高めた金属-酸化物-金属(MOM)キャパシタ

発明者：
シア・リ

シア・リ について

, 
ビン・ヤン

ビン・ヤン について


出願人/特許権者：
クアルコム,インコーポレイテッド

クアルコム,インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 村山 靖彦 ,  黒田 晋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-252960
公開番号（公開出願番号）：特開2017-076815
出願日： 2016年12月27日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
要約：
【課題】ICの小さい表面積を追求しながら、大きいキャパシタンス値を与えるまたはキャパシタンスのレベルを維持するMOMキャパシタを提供する。【解決手段】特定の金属-酸化物-金属(MOM)キャパシタデバイスは、基板に結合された導電性ゲート材料を含む。MOMキャパシタデバイスは、導電性ゲート材料に結合された第1のメタル構造をさらに含む。MOMキャパシタデバイスは、基板に結合されかつ第1のメタル構造に近接する第2のメタル構造をさらに含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に結合された導電性ゲート材料と、 前記導電性ゲート材料に結合された第1のメタル構造と、 前記基板に結合されかつ前記第1のメタル構造に近接する第2のメタル構造と を備え、 前記第1のメタル構造が、第1のビア構造を介して第1の高位メタル構造に結合される、 金属-酸化物-金属(MOM)キャパシタデバイス。
IPC (5件)：
H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522
FI (2件)：
H01L27/04 C ,  H01L21/88 Z
Fターム (45件)：
5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH10 ,  5F033HH11 ,  5F033HH19 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033MM01 ,  5F033PP06 ,  5F033PP12 ,  5F033PP14 ,  5F033PP15 ,  5F033PP26 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ07 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR01 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033SS21 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033XX00 ,  5F033XX03 ,  5F038AC04 ,  5F038AC05 ,  5F038AC08 ,  5F038AC15 ,  5F038CD13 ,  5F038EZ09 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ15 ,  5F038EZ20
引用特許：
審査官引用 (8件)
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