特許
J-GLOBAL ID：201703003515666297
試料観察装置用のテンプレート作成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-133110
公開番号（公開出願番号）：特開2015-007587
特許番号：特許第6207893号
出願日： 2013年06月25日
公開日（公表日）： 2015年01月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子線を試料上で走査して前記試料の撮像画像を取得する試料観察装置用のテンプレート作成装置であって、
前記試料観察装置によって観察を行うときのパラメータ情報及び第1のテンプレート画像を含むレシピファイル情報と、前記試料観察装置から取得した複数の撮像画像とを格納する記憶部と、
前記複数の撮像画像からテンプレート作成用画像を選択し、前記テンプレート作成用画像を平均化した第2のテンプレート画像を作成する演算処理部と、
を備え、
前記演算処理部は、前記第1のテンプレート画像と前記撮像画像とのマッチング処理を実行するマッチング実行部を備え、
前記演算処理部は、
前記マッチング処理から求めたスコアが第1の閾値以上であり、かつ、前記第1のテンプレート画像のユニーク度が第2の閾値以上の場合、前記撮像画像を前記テンプレート作成用画像として選択することを特徴とするテンプレート作成装置。
IPC (4件)：
G01B 15/04 ( 200 6.01)
, G06T 7/00 ( 201 7.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
, G01B 15/00 ( 200 6.01)
G01B 15/04 K
, G06T 7/00 300 D
, H01L 21/66 J
, G01B 15/00 K
