圧力センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-050489
公開番号（公開出願番号）：特開2014-178125
特許番号：特許第6205145号
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の圧力を受圧するダイアフラムと、前記ダイアフラムとの間でオイル等の絶縁性媒質が封入された受圧空間が形成され前記受圧空間内に半導体形圧力検出装置が設けられるベースと、前記ベースに植設され前記半導体形圧力検出装置とボンディングワイヤを介して結線される複数の端子ピン及びアース端子ピンとを具備し、前記ダイアフラムと前記ベースとからなる圧力検出部が一体的に装備される圧力センサであって、前記ベース上には、前記半導体形圧力検出装置と、前記半導体形圧力検出装置の周囲位置又は側方位置に配置される除電板とが搭載されており、前記除電板は、前記ベースからの高さが前記半導体形圧力検出装置の前記ベースからの高さよりも低い位置に配置されており、前記除電板は、アース用ボンディングワイヤを介して前記アース端子ピンに電気的に導通させてあり、前記ベースからの高さ方向に沿って前記ダイアフラム側から前記ベースを見て、前記除電板は、前記半導体形圧力検出装置と重ならないように配置されることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ( 200 6.01) , G01L 19/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 9/00 301 Z , G01L 19/06 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

圧力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-072531 出願人：本田技研工業株式会社, 株式会社長野計器製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-276771 出願人：株式会社デンソー
センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-139897 出願人：株式会社デンソー

全件表示

前のページに戻る