特許
J-GLOBAL ID：201703004886966796
薄膜形成装置及び薄膜形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001029
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140908
特許番号：特許第6057406号
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対象物を保持するステージと、
前記対象物に対向し、ソルダーレジストである第1の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第1のノズルヘッドと、
前記対象物に対向し、ソルダーレジストである第1の色とは異なる第2の色の液状材料を吐出する複数のノズル穴が形成された第2のノズルヘッドと、
前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドに対して前記ステージを、または前記ステージに対して前記第1のノズルヘッド及び前記第2のノズルヘッドを、前記対象物の面内方向に移動させる移動機構と、
前記移動機構、前記第1のノズルヘッド、及び前記第2のノズルヘッドを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
第1の薄膜及び第2の薄膜で覆うべき領域を示す第1のイメージデータと、前記第2の薄膜を形成するための基礎となる第2のイメージデータとを記憶しており、
前記第1のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第1のイメージデータで定義された領域から前記第2のイメージデータで定義された領域を除外して得られるイメージデータに基づいて、前記第1の色の液状材料を前記対象物の表面に着弾させながら光硬化させることで前記第1の薄膜を形成し、
前記第2のノズルヘッド及び前記移動機構を制御して、前記対象物に、前記第2のイメージデータに基づいて、前記第2の色の液状材料を前記対象物の表面に着弾させながら光硬化させることで前記第2の薄膜を形成する
薄膜形成装置。
IPC (4件)：
H05K 3/28 ( 200 6.01)
, B05C 5/00 ( 200 6.01)
, H05K 1/02 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
H05K 3/28 E
, B05C 5/00 101
, H05K 1/02 S
, H05K 3/00 P
