特許
J-GLOBAL ID：201703005459847596

感光性樹脂組成物、感光性フィルム、パターン形成方法、中空構造の形成方法、及び電子部品

発明者：
加藤 禎明

加藤 禎明 について

, 
藤井 真二郎

藤井 真二郎 について


出願人/特許権者：
日立化成株式会社

日立化成株式会社 について


代理人 (2件)： 大谷 保 ,  平澤 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-228261
公開番号（公開出願番号）：特開2017-083851
出願日： 2016年11月24日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
要約：
【課題】耐湿熱性に優れ、硬化物が高温で高い弾性率を有し、中空構造保持性にも優れる感光性樹脂組成物、それを用いた感光性フィルム、パターン形成方法、中空構造の形成方法、及び電子部品を提供する。【解決手段】(A)少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(B)光重合開始剤とを含有し、(B)光重合開始剤として、オキシムエステル系化合物及び/又はアシルホスフィンオキサイド系化合物を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(B)光重合開始剤とを含有し、(B)光重合開始剤として、オキシムエステル系化合物及び/又はアシルホスフィンオキサイド系化合物を含む、感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/031 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/029
FI (7件)：
G03F7/031 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 521 ,  C08F2/48 ,  G03F7/029
Fターム (48件)：
2H196AA27 ,  2H196BA06 ,  2H196EA02 ,  2H196GA03 ,  2H196HA01 ,  2H196JA04 ,  2H197AA04 ,  2H197CA02 ,  2H197CA03 ,  2H197CE01 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197HA06 ,  2H197HA10 ,  2H197JA12 ,  2H197JA14 ,  2H197JA15 ,  2H197JA22 ,  2H197JA24 ,  2H197JA30 ,  2H225AC34 ,  2H225AC36 ,  2H225AD02 ,  2H225AD05 ,  2H225AD06 ,  2H225AD07 ,  2H225AD26 ,  2H225AE12P ,  2H225AP11P ,  2H225AP15P ,  2H225BA05P ,  2H225CA11 ,  2H225CB02 ,  2H225CC01 ,  2H225CC13 ,  4J011AA05 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA14 ,  4J011QB18 ,  4J011QB19 ,  4J011QB24 ,  4J011SA65 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011UA08 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
  • 製品カタログ
審査官引用 (1件)
  • 製品カタログ

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