感光性樹脂組成物、SAWフィルタ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-180651
公開番号（公開出願番号）：特開2010-020107
出願日： 2008年07月10日
公開日（公表日）： 2010年01月28日
要約：

【課題】溶剤現像に対応可能であり、低温硬化可能であり、吸水率が十分に低く、耐湿熱性に優れ、厚膜で解像度よく像形成が可能な感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)主鎖に炭素数5〜20のアルキレン基を有するポリアミック酸と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有し、上記(B)重合性化合物が、分子内に炭素数6〜20の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基及び2以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)主鎖に炭素数5〜20のアルキレン基を有するポリアミック酸と、 (B)重合性化合物と、 (C)光重合開始剤と、を含有し、前記(B)重合性化合物が、分子内に炭素数6〜20の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基及び2以上のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/027 , G03F 7/037 , G03F 7/40 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/027 502 , G03F7/027 513 , G03F7/037 501 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R

Fターム (16件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC66 , 2H025BC74 , 2H025CA35 , 2H025CB25 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA05 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096HA01

引用特許：

出願人引用 (9件)

弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-054164 出願人：京セラ株式会社
弾性表面波装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-010957 出願人：株式会社村田製作所
弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-190723 出願人：株式会社村田製作所

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