特許
J-GLOBAL ID：201703005706832459
液中原子間力顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-169504
公開番号（公開出願番号）：特開2017-044664
出願日： 2015年08月28日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：
【課題】力検出性能を向上させた液中原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】液体の中に置かれた試料を観察するための液中原子間力顕微鏡10は、先端に探針部12を有するカンチレバー11と、試料20と探針部12の先端との相互作用力によるカンチレバー11の変位を計測する変位計測部13と、変位計測部13で計測された変位に基づいて試料20と探針部12の先端との距離を一定に維持する制御を行うフィードバック制御部14と、開口部23aを有し、液体21の液面を覆う薄膜23とを備え、探針部12は、開口部23aを貫通し、探針部12の先端だけが液体21に浸漬するように、カンチレバー11に固定されている。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
液体の中に置かれた試料を観察するための液中原子間力顕微鏡であって、
先端に探針部を有するカンチレバーと、
前記試料と前記探針部の先端との相互作用力による前記カンチレバーの変位を計測する変位計測部と、
前記変位計測部で計測された変位に基づいて前記試料と前記探針部の先端との距離を一定に維持する制御を行うフィードバック制御部と、
開口部を有し、前記液体の液面を覆う薄膜とを備え、
前記探針部は、前記開口部を貫通し、当該探針部の先端だけが前記液体に浸漬するように、前記カンチレバーに固定されている
液中原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01Q30/14
, G01Q60/38 101
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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