特許
J-GLOBAL ID：200903012581382450
光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051167
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006838
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 光近接場効果を利用した光プロ-ブで、微小開口におけるエバネッセント場の強度が、入射光の強度に対して大きく減衰してしまう。【解決手段】 微小開口を有する光プロ-ブを光共振器もしくはその一部とすることにより光プロ-ブ内の光強度を増強して、微小開口部に形成されるエバネッセント場の強度を増強する光プロ-ブを提供する。
請求項（抜粋）：
固体表面における形状観察および物性測定を行うための近接場効果顕微鏡に使用される光プローブにおいて、前記光プローブは端部に光透過孔を有する光ファイバーからなり、光ファイバー自体が光共振器として構成されていることを特徴とする光プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (17件)
-
レーザ光源を備えた近視野光学装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-234576
出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
-
特開平3-278014
-
走査型近接場顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-095911
出願人：株式会社ニコン
全件表示
前のページに戻る
