特許
J-GLOBAL ID：201003029097435299
走査プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-233082
公開番号（公開出願番号）：特開2010-066140
出願日： 2008年09月11日
公開日（公表日）： 2010年03月25日
要約：
【課題】本発明は、液中内に探針を配置せずに液中内の試料特性を測定/観察することができる走査プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】探針2aを先端に有し、該探針2aが試料6の表面に近接配置されるカンチレバ2と、前記試料6と前記探針2aとを相対的にX,Yスキャンするスキャン手段4と、前記試料6と前記探針2aとの距離を相対的に変化させるZ動駆動手段と、前記カンチレバ2と試料6との間に薄膜を配置し、該薄膜を隔て試料6の機械的又は電気的又は光学的又は磁気的特性を得るように構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
探針を先端に有し、該探針が試料の表面に近接配置されるカンチレバと、前記試料と前記探針とを相対的にX,Yスキャンするスキャン手段と、前記試料と前記探針との距離を相対的に変化させるZ動駆動手段と、前記カンチレバと試料との間に薄膜を配置し、該薄膜を隔て試料の特性を得るようにしたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01Q 60/24
, G01Q 60/10
, G01Q 60/18
, G01Q 80/00
G01N13/16 101
, G01N13/12 101
, G01N13/14 101
, G01N13/10 L
出願人引用 (3件)
審査官引用 (11件)
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