特許
J-GLOBAL ID：201703005839357176
有機膜組成物、有機膜、およびパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-050162
公開番号（公開出願番号）：特開2016-222893
出願日： 2016年03月14日
公開日（公表日）： 2016年12月28日
要約：
【課題】本発明は、耐エッチング性を満たしながらも、ギャップフィル特性および平坦化特性に優れた有機膜組成物、前記有機膜組成物から製造された有機膜、前記有機膜組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る有機膜組成物は、10%〜70%の熱収縮率を有する第1化合物と、前記第1化合物の熱収縮率より小さい熱収縮率を有する第2化合物と、溶媒と、を含む。但し、前記熱収縮率の測定方法は、明細書中の記載のとおりである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
10%〜70%の熱収縮率を有する第1化合物と、
前記第1化合物の熱収縮率より小さい熱収縮率を有する第2化合物と、
溶媒と、
を含む有機膜組成物。
但し、前記熱収縮率の測定方法は、下記のとおりである。
[熱収縮率測定方法]
化合物1gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)10gに溶かして組成物を準備する。前記組成物をパターンが形成された基板上にコーティングした後、そのコーティングされたフィルム厚さ(Tk1)を基板のセル(Cell)部分および周辺(Peri)部分でそれぞれ測定する。その後、コーティングされた基板を400°Cで2分間熱処理して形成されたフィルムの厚さ(Tk2)をセル(Cell)部分および周辺(Peri)部分でそれぞれ測定する。その後、下記計算式1に基づいてセル部分およびペリ部分での熱収縮率(%)をそれぞれ求め、これらの算術平均値を当該化合物の熱収縮率とする。
IPC (7件)：
C08L 61/08
, G03F 7/11
, G03F 7/26
, H01L 21/027
, C08L 61/12
, C08L 65/00
, C08K 5/13
C08L61/08
, G03F7/11 502
, G03F7/11 503
, G03F7/26 511
, H01L21/30 563
, H01L21/30 570
, H01L21/30 574
, H01L21/30 578
, C08L61/12
, C08L65/00
, C08K5/13
2H125AM10N
, 2H125AM80N
, 2H125AN39N
, 2H125AN42N
, 2H125BA01N
, 2H125CA12
, 2H125CD08N
, 2H125CD11N
, 2H125CD39
, 2H125DA23
, 2H125DA24
, 2H125EA13N
, 2H196AA25
, 2H196KA08
, 2H196KA12
, 2H196KA19
, 2H196KA21
, 2H196KA22
, 4J002CC04W
, 4J002CC06X
, 4J002CE00X
, 4J002EJ066
, 4J002GH00
, 4J002GQ05
, 4J002HA05
, 5F146JA22
, 5F146PA01
