特許
J-GLOBAL ID:201703006013531397

共用拡散標準セルの構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  井関 守三 ,  岡田 貴志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-172671
公開番号(公開出願番号):特開2017-022395
出願日: 2016年09月05日
公開日(公表日): 2017年01月26日
要約:
【課題】拡散領域の端部にあるデバイスの性能劣化を防止。【解決手段】半導体標準セル200は、Nタイプの拡散領域とPタイプの拡散領域202を含み、その両方がセルをわたっておよびセルの外側にも延在する。セルはまた、半導体デバイスを生成するために各拡散領域上方に導電ゲート206を含む。一対のダミーゲート208、218はまた、一対のダミーデバイスを生成するNタイプの拡散領域とPタイプの拡散領域上方にある。一対のダミーゲートはセルの反対側の端部に配置される。セルは、ダミーデバイスを無効にするための電源またはグラウンドにダミーデバイスを結合するように構成された第1の導電線214をさらに含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
セルにわたっておよび前記セルの外側にも延在するNタイプの拡散領域と、 前記セルにわたっておよび前記セルの外側にも延在するPタイプの拡散領域と、 半導体デバイスを生成するための、各拡散領域上方の少なくとも1つの導電ゲートと、 一対のダミーゲートと、各ダミーゲートは少なくとも一対のダミーデバイスを生成するために前記Nタイプの拡散領域と前記Pタイプの拡散領域上方に配置される、前記一対のダミーゲートは前記セルの反対側の端部に配置される、 および 前記少なくとも1つのダミーデバイスを無効にするための電源に前記ダミーデバイスのうちの少なくとも1つを結合するように構成された少なくとも1つの第1の導電線、 を備える半導体標準セル。
IPC (6件):
H01L 21/82 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/092
FI (4件):
H01L21/82 B ,  H01L27/04 A ,  H01L27/08 102C ,  H01L27/08 321D
引用特許:
審査官引用 (6件)
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