特許
J-GLOBAL ID:201703006747428200

制振装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-111099
公開番号(公開出願番号):特開2017-215029
出願日: 2016年06月02日
公開日(公表日): 2017年12月07日
要約:
【課題】本発明は、第1部材と相対変位する第2部材の振動を低減することを目的とする。【解決手段】制振装置50は、架台12と相対変位する載置台22を制振する制振装置50であって、圧電素子66を有し、架台12に支持され、圧電素子66の伸縮に伴って載置台22に制振力を付与するアクチュエータ60と、アクチュエータ60と架台12の連結ベース26との間に介在する弾性体94と、を備える。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1部材と相対変位する第2部材を制振する制振装置であって、 圧電素子を有し、前記第1部材に支持され、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第2部材に制振力を付与するアクチュエータと、 前記アクチュエータと前記第1部材との間、及び前記アクチュエータと前記第2部材との間の少なくとも一方に介在する弾性体と、 を備える制振装置。
IPC (3件):
F16F 15/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/053
FI (3件):
F16F15/04 F ,  H01L41/09 ,  H01L41/053
Fターム (7件):
3J048AA01 ,  3J048AD02 ,  3J048BC04 ,  3J048BE02 ,  3J048CB21 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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