特許
J-GLOBAL ID：201703009290424670
付加製造プロセスにより製作される研磨パッド
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-520496
公開番号（公開出願番号）：特表2017-533585
出願日： 2015年10月19日
公開日（公表日）： 2017年11月09日
要約：
本開示の実施形態は、調整可能な化学的、材料的及び構造的な特性を有する高度な研磨パッド、及びその研磨パッドを製造する新たな方法に関する。本開示の一又は複数の実施形態によれば、改良された特性を有する研磨パッドが、3次元(3D)印刷プロセスなどの付加製造プロセスにより製作され得ることが分かった。したがって、本開示の実施形態は、官能性ポリマー、官能性オリゴマー、反応性希釈剤、及び硬化剤を含む少なくとも2つの異なる材料から形成された個別的特性及び形状寸法を有する高度な研磨パッドを提供し得る。例えば、高度な研磨パッドは、少なくとも1つの樹脂前駆体組成物の自動連続堆積により、更にはその後に続く少なくとも1つの硬化ステップにより、複数のポリマー層から形成され得、各層は、少なくとも1つのポリマー組成物、及び/又は異なる組成物の領域を表し得る。【選択図】図3A
請求項（抜粋）：
基板の表面を研磨するように構成されている研磨面を有する研磨パッドであって、
各々が複数の第1のポリマー層を含む複数の第1の研磨要素であって、前記複数の第1のポリマー層のうちの少なくとも1つが前記研磨面を形成する、複数の第1の研磨要素と、
各々が複数の第2のポリマー層を含む一又は複数の第2の研磨要素であって、前記一又は複数の第2の研磨要素の各々の少なくとも1つの領域が、前記複数の第1の研磨要素のうちの少なくとも1つと前記研磨パッドの支持面との間に配置されている、一又は複数の第2の研磨要素と
を含み、
前記複数の第1のポリマー層が第1のポリマー組成物を含み、前記複数の第2のポリマー層が第2のポリマー組成物を含む、研磨パッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622F
, B24B37/24 B
3C158AA07
, 3C158AC04
, 3C158CA01
, 3C158CB01
, 3C158DA12
, 3C158DA17
, 3C158EA11
, 3C158EB01
, 3C158EB04
, 3C158EB17
, 3C158EB19
, 3C158EB21
, 3C158EB29
, 5F057AA03
, 5F057AA09
, 5F057AA24
, 5F057BB03
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057EB03
, 5F057EB06
, 5F057EB08
, 5F057EB09
, 5F057EB12
, 5F057EB13
, 5F057EB27
, 5F057EB30
, 5F057FA19
, 5F057FA20
, 5F057FA39
, 5F057GA12
, 5F057GB02
, 5F057GB20
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
