特許
J-GLOBAL ID：201703011055923086

画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器

発明者：
眞弓 典正

眞弓 典正 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (2件)： 豊栖 康弘 ,  豊栖 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036442
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151066
出願日： 2016年02月26日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】振動が存在する場合でも、これを補正して高さ方向の高精度な外観検査を可能とする。【解決手段】二次元プロファイル生成部23で生成された二次元プロファイルに基づいて、振動成分推定の基準となる基準高さを設定するための基準高さ設定部32aと、二次元プロファイル生成部23で生成された二次元プロファイルと、基準高さ設定部32aで設定された基準高さに基づいて、検査環境の振動成分を推定するための振動推定部32bと、振動推定部32bで推定された振動成分を、各二次元プロファイルから除去するためのプロファイル補正部32cと、プロファイル補正部32cで振動成分が除去された複数の二次元プロファイルから、検査対象物の三次元データを生成するための三次元データ生成部32dと、三次元データ生成部32dで生成された三次元データに基づいて検査対象物の外観検査を行うための検査部32eとを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
検査対象物の高さ情報に基づいて外観検査を行うための検査装置であって、 一方向に相対的に移動される検査対象物に対して測定光を照射するための照射部と、 前記照射部から検査対象物に照射され、該検査対象物で反射された、高さ方向における振動成分を含む反射光を検出するための検出部と、 前記検出部により取得された検出データに基づき、検査対象物の断面形状を示す二次元プロファイルを生成するための二次元プロファイル生成部と、 複数の二次元プロファイルから得られた振動成分が除去される前の三次元データに基づいて、振動成分推定の基準となる基準高さを設定するための基準高さ設定部と、 前記二次元プロファイル生成部で生成された二次元プロファイルと、前記基準高さ設定部で設定された基準高さに基づいて、検査環境の振動成分を推定するための振動推定部と、 前記振動推定部で推定された振動成分を、各二次元プロファイルから除去するためのプロファイル補正部と、 前記プロファイル補正部で振動成分が除去された複数の二次元プロファイルから、検査対象物の三次元データを生成するための三次元データ生成部と、 前記三次元データ生成部で生成された三次元データに基づいて検査対象物の外観検査を行うための検査部と を備える検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/88
FI (3件)：
G01B11/24 A ,  G01B11/24 K ,  G01N21/88 J
Fターム (43件)：
2F065AA23 ,  2F065AA24 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065EE06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF05 ,  2F065FF07 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065FF11 ,  2F065FF17 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP15 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS13 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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