特許
J-GLOBAL ID：201703011671042506
中心位置検出方法および中心位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
城村 邦彦
, 熊野 剛
, 前田 礼子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-248414
公開番号（公開出願番号）：特開2014-095661
特許番号：特許第6073655号
出願日： 2012年11月12日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 画像データに対し、予め決まった大きさの四角枠を移動させ、被検出部位を含む状態となったこの四角枠に囲まれた領域に対応する指定領域から、被検出部位の中心の位置を検出する方法であって、
指定領域を二値化して二値化画像を得る二値化工程と、
この二値化工程の後で、この二値化工程で得た二値化画像のうち、最も広い領域を被検出部位として検索する検索工程と、
この検索工程の後で、この検索工程で検索した最も広い領域に対して、内接する最大の矩形ないし正方形を演算する演算工程とを備え、
この演算工程の後で、この演算工程で演算した最大内接矩形ないし正方形の中心位置を、被検出部位の中心位置とし、
被検出部位が、半導体ウエハのチップが取り付けられるアイランドであり、
最大内接矩形ないし正方形の全ての角が、アイランドの円弧部に内接することを特徴とする中心位置検出方法。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/52 ( 200 6.01)
G01B 11/00 H
, G01B 11/00 A
, H01L 21/52 F
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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