特許
J-GLOBAL ID：201703012555360963
圧電デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-554643
特許番号：特許第6065023号
出願日： 2013年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一電極膜、
前記第一電極膜上に設けられた圧電膜、及び、
前記圧電膜上に設けられた第二電極膜
を備え、
前記圧電膜は(K,Na)NbO3またはLiNbO3で構成され、かつ厚みが1000〜4000nmであり、
前記第一及び第二電極膜の少なくとも一方は合金から構成され、前記合金の主成分はZnである、
圧電デバイス。
IPC (3件)：
H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, H01L 41/29 ( 201 3.01)
H01L 41/047
, H01L 41/187
, H01L 41/29
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
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