支持機構および搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-193147
公開番号（公開出願番号）：特開2015-060925
特許番号：特許第6079529号
出願日： 2013年09月18日
公開日（公表日）： 2015年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上面が平坦な円板状をなし、前記上面と支持対象物との間にエアの流れを生じさせることで前記支持対象物を非接触状態で支持する支持機構であって、前記上面の中央部分にエアの噴出口を備えるとともに、前記上面の外周近傍の位置に、前記上面の径方向に対して所定の角度だけ傾斜する上面視円形状の溝部を備える、ことを特徴とする支持機構。

IPC (1件)：